Loading...
- Type of Document: Ph.D. Dissertation
- Language: Farsi
- Document No: 45642 (04)
- University: Sharif University of Technology
- Department: Physics
- Advisor(s): Bahrampour, Ali Reaz
- Keywords:
- Visible Ligth Saturable Absorber Nanolithography ; Vectorial Non-paraxial Model ; All-Optical Lithography Machine
-
محتواي کتاب
- view
- Tofighi_Thesis
- پیشگفتار
- روشهای مختلف نانولیتوگرافی
- مقدمه و تاریخچه
- نانولیتوگرافی میدان نزدیک
- نانولیتوگرافی میدان نزدیک پلاسمونیک
- نانولیتوگرافی میدان نزدیک با عدسی غوطهور جامد
- نانولیتوگرافی با ابرعدسی
- لیتوگرافی گرهی
- لیتوگرافی نوری با مدولاسیون جذب
- لیتوگرافی کوانتومی
- لیتوگرافی با اپتیک غیرخطی
- نانولیتوگرافی مهرزنی
- نانولیتوگرافی خودساماندهی هدایتشده
- اثر جذب اشباعشونده
- مقدمه
- جذب اشباعشونده در بخار اتمی: مدل اتم دو ترازی
- جذب اشباعشونده در مواد نیمهرسانا
- معادلات پیوستگی
- نانولیتوگرافی با جاذب اشباعشونده در طیف نور مرئی: مدل پیرامحوری نردهای
- مقدمه و تاریخچه
- حل پیرامحوری-نردهای
- مدل یکبعدی
- مدل تقریب تغییرات آرام پوش
- تنظیم مشخصات پرتو گاوسی در ورودی جاذب اشباعپذیر با استفاده از قانون ABCD
- نانولیتوگرافی با جاذب اشباعشونده درطیف مرئی: مدل غیرپیرامحوری برداری
- مقدمه و تاریخچه
- حل غیرپیرامحوری-برداری
- معادله موج غیرپیرامحوری
- نتایج محاسبات عددی و تفسیر آنها
- ماشین تمامنوری نانولیتوگرافی
- مقدمه و تاریخچه
- مدل تئوری
- پاسخ خطی
- پاسخ غیرخطی
- نتیجهگیری
- مروری بر کارهای انجام شده در این رساله
- کارهای آینده
- پیوست
- my_paper_list
- Glossary
- end