Loading...

NumericalModel for Surface Scattering and Grain Boundary Scattering of Metallic Wires

Abbaspour, Elhame | 2012

970 Viewed
  1. Type of Document: M.Sc. Thesis
  2. Language: Farsi
  3. Document No: 43459 (05)
  4. University: Sharif University of Technology
  5. Department: Electrical Engineering
  6. Advisor(s): Sarvari, Reza
  7. Abstract:
  8. Recently, the size of copper interconnects is going to reach lower than the mean free path of electrons for copper. In this situation, we should consider the effect of other scattering mechanisms as well as thermal scattering on copper thin films. In this work we study both DC size effect and anomalous skin effect on resistivity by a Monte Carlo method. Contribution of each scattering mechanism and the interaction between them are analyzed separately. The structure of electrical field and distribution of current in thin films have also been studied. Investigating of the effect of exact nature of surface scattering and grain boundary scattering on resistivity is one of the interests of this project. In this work we have found good agreements between proposed numerical model and existing analytical formulas.

  9. Keywords:
  10. Copper ; Interconnect Network ; Surface Scattering ; Grain Boundary Scattering

 Digital Object List

 Bookmark

  • 1 فصل اول: مقدمه
    • 1-1 معادله انتقالی بولتزمن11F
    • 1-2 اثر اندازه کلاسیکی13F
      • 1-2-1 پراکندگی سطح14F
      • 1-2-2 پراکندگی از مرز گرین
    • 1-3 اثر پوستی غیرعادی24F
  • 2 فصل دوم: اثر اندازه روی مقاومت
    • 2-1 پراکندگی از سطح در فیلمهای نازک
    • 2-2 پراکندگی از مرزهای گرینها در فیلم نازک
    • 2-3 قانون ماتیانس35F و وابستگی دمایی اثر اندازه
    • 2-4 اثر متقابل بین پراکندگی از سطح و پراکندگی از مرز گرینها
    • 2-5 اثر پوستی
      • 2-5-1 اثر پوستی عادی
      • 2-5-2 اثر پوستی غیرعادی
  • 3 فصل سوم: مروری بر کارهای گذشته انجام شده در زمینه اثر اندازه و اثر پوستی غیرعادی
    • 3-1 پراکندگی از سطح و مرزهای گرینها در فیلمهای فلزی
    • 3-2 اثر پوستی غیر عادی
  • 4 فصل چهارم: شبیه سازی و تحلیل
    • 4-1-1 محاسبه مقاومت بدنه
    • 4-1-2 مدل پراکندگی سطحی
    • 4-1-3 مدل پراکندگی از مرز گرینها
    • 4-1-4 قانون ماتیانس و وابستگی دمایی اثر اندازه
    • 4-1-5 اثر متقابل بین پراکندگی از سطح و مرز گرین
    • 4-2 اثر پوستی
      • 4-2-1 اثر پوستی عادی
      • 4-2-2 اثر پوستی غیرعادی
  • 5 نتیجهگیری و کارهای آینده
  • مراجع
...see more